Marque : KLA-TENCOR
Modéle : AlphaStep D-500
Systèmes de mesure d’épaisseur de couches minces micrométriques et nanométriques. Le profilomètre Alpha-Step D500 a une pointe de stylet conique de 5 µm de rayon 60 ° avec une hauteur de biseau de 880 µm installée.
Research Centre in Industrial Technologies (CRTI)
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